核心服務
服務項目與支援品牌
晶圓傳輸手臂大修 (Overhaul)
針對各品牌半導體手臂進行全機翻修，恢復原廠出廠規格。
動態精度校正 (Calibration)
運用精密儀器執行三維精度校準，確保抓取與放置晶圓的完美準確度。
馬達與皮帶更換
更換高精密步進馬達與傳動皮帶，排除作動異音與抖動。
On-site and Off-site Support
工程師團隊可現場協助，緊急維修與故障排除。
預防性定期保養
定期巡檢與潤滑保養，延長機台壽命並減少突發故障率。
YASKAWAGENMARKRORZEJELASYST
BROOKS / PRI AUTOMATION
品質承諾
技術優勢與品質承諾
- 業界資深半導體自動化工程師團隊
- 完整出廠動態模擬測試
- 三維精度校正
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